[아시아경제 유현석 기자] 파크시스템스는 대만의 글로벌 파운드리 업체를 비롯한 반도체 제조업체들로부터 지속적인 수주가 이어지고 있다고 8일 밝혔다.
회사측 관계자는 “T사에서는 전공정 뿐만 아니라 어드밴스드 패키징(Advanced Packaging)의 후공정에서도 동사의 원자현미경을 도입하기 시작한 것”이라며 “그 외에도 S사, Y사, I사 등의 글로벌 반도체 제조업체들도 라인마다 원자현미경의 도입을 빠르게 추진하고 있다”고 말했다.
최근 반도체 산업에서의 공정이 2D에서 3D로, 그리고 5~3nm 공정개발로 넘어가면서 계측 및 분석 분야에서의 패러다임이 빠르게 바뀌고 있다.
TSMC는 내년 7월에 3나노 공정을 도입하고 2024년에 2나노 공정 반도체 양산을 준비 중이라는 발표했다. 삼성도 지난 7일 '삼성 파운드리 포럼 2021'에서 3나노 공정 반도체를 내년 상반기에 2025년에는 GAA가 적용된 2나노 공정 반도체를 양산하겠다는 계획을 밝힌바 있다. 실제로 공정미세화가 가속되면서 차세대 소자개발과 공정개선을 위한 계측기술의 최적화와 새로운 나노계측기술의 개발이 요구가 높아질 전망이다.
원자현미경은 탐침을 통해 근접장에서 nm(나노미터) 수준의 3차원 형상 뿐만 아니라 전기, 열 및 광 전도량, 저항, 자기, 마찰력, 성분, 광량, 파장 등을 나노 단위 및 그 이하의 수치로 계측하고 분석해내는 기술로 나노기술의 시작과 발전을 주도하는 핵심 장비이다.
파크시스템스는 이러한 원자현미경의 원천기술을 보유하고 있는 나노계측전문 기업이다. 동사가 보유한 원자현미경 제조기술은 국가핵심기술로 지정되어 보호받고 있으며, 해당 제품들은 주로 해외 유수의 연구소와 반도체 기업들에게 수출되고 있다.
파크시스템스 관계자는 “올해 3분기 누적수주액은 작년 연간수주액인 약 680억원에 이미 도달했다"며 "앞으로 4분기 수주액도 작년 동기대비 성장할 것으로 예상된다"고 강조했다.