삼성전자의 반도체 장비 자회사 세메스가 차세대 검사장비 프로브 스테이션(SEMPRO) 양산 5000호기 출하식을 가졌다고 8일 밝혔다.
세메스는 2003년 첫 양산 이래 2014년 1000대, 2020년 2000대 이후 2년마다 1000대씩 증가하며 22년 만에 5000호기 출하를 달성했다.
프로브 스테이션은 반도체 EDS(전기적 칩 선별) 공정에서 웨이퍼에 형성된 각 칩(다이)들을 양품과 불량으로 선별하는 전기적 특성을 검사하기 위해 테스터와 연결되는 자동화 설비다.
세메스 프로브 스테이션은 업계 최고 수준의 고대역폭메모리(HBM) 테스트 발열 제어 및 고하중 컨택 정밀도 향상을 기반으로 EDS 공정의 생산 효율화에 기여하고 있다. 현재 무인 자동화 기능을 도입해 스마트 팩토리형 장비를 생산하고 있다.
최병갑 테스트앤패키징 팀장은 "이번 5000호기 출하는 장비의 품질과 신뢰성을 인정받은 결과"라며 "인공지능(AI) 및 HBM 같은 고성능 반도체의 수요증가로 반도체 웨이퍼 테스트 공정의 난도가 높아지는 가운데 HBM 테스트 분야에서도 경쟁사 대비 기술우위를 확보하게 됐다"고 말했다.
세메스 프로브 스테이션은 2018년 세계 3대 디자인상으로 꼽히는 레드닷 산업디자인 컨셉 부문 최우수상인 베스트 오브 베스트 상을 받은 바 있다.
