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- 자회사 러셀로보틱스가 약 100억원 규모의 반도체공정 무인운반차(AGV) 공급 프로젝트를 수주했다고 밝혔다.... 장효원 기자2021.10.22 09:01
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엘오티베큠, 반도체 EUV 공정에 필요한 진공펌프 국산화 도전
엘오티베큠은 지난 5월 반도체공정용 진공펌프 및 디스플레이 반도체 공정장비용 초고진공 터보분자펌프 ... 박형수 기자2020.11.09 13:45
엘오티베큠, 반도체 EUV 공정에 필요한 진공펌프 국산화 도전
엘오티베큠은 지난 5월 반도체공정용 진공펌프 및 디스플레이 반도체 공정장비용 초고진공 터보분자펌프 ... 박형수 기자2020.11.09 13:45