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예스티, 고부가 반도체 고압 어닐링 장비 개발 본격화… “핵심 공정기술 특허 출원”
반도체 장비 전문기업 예스티는 반도체 제조의 핵심 공정에 적용되는 고압 어닐링 기술 관련 특허를 출원했다고 2일 밝혔다. 이번에 출원한 특허 기술은 고압 어닐링 장비의 핵심 기술인 압력 챔버 등에 관한 것으로 중수소 리액터 장 ...
장효원 기자
2022.08.02 09:52
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